您的位置首页百科知识 芯片生产设备有哪些? Simone 发布于 2024-08-20 16:46:35 585 阅读 芯片生产设备有哪些?的有关信息介绍如下:1、光刻机2、ICP等离子体刻蚀系统3、反应离子刻蚀系统4、离子注入机5、单晶炉6、晶圆划片机7、晶片减薄机8、气相外延炉9、分子束外延系统10、氧化炉(VDF)11、低压化学气相淀积系统12、等离子体增强化学气相淀积系统13、磁控溅射台14、化学机械抛光机15、引线键合机16、探针测试台